光学元件磁流变加工不确定度误差工艺方法

摘要： 为减少磁流变抛光过程中误差对加工精度的影响，实现光学元件磁流变高精度加工，采用一种不确定度误差工艺方法对加工中的误差进行抑制。通过对磁流变加工过程中的位置误差和去除函数误差进行不确定度分析，在理论分析与实验分析的基础上进行验证实验。由仿真与实验结果可知，加工中面形误差与中频误差均存在3.5 nm的不确定度误差值，通过验证实验，得到了加工后的面形误差RMS值为20 nm，中频误差... （共10页）