高洁净度超光滑非球面的自动化干涉检测方法

摘要： 为了实现应用于高能激光等领域对表面洁净度有着极高要求的超光滑非球面检测，排除检测人员带来的洁净度与空气扰动的影响，研究了高洁净度超光滑非球面的自动化干涉检测方法。通过建立补偿干涉法非球面失调量与波前像差之间的灵敏度矩阵，实现利用波前像差求解被测非球面失调量。以理想干涉系统的离焦、彗差与像散为优化目标，进行反馈控制，实现被测非球面的自动化调整，进而实现高洁净度超光滑非球面的自动化...