熔石英元件磁性复合流体抛光去除特性研究

摘要： 基于磁性复合流体(Magnetic Compound Fluid,MCF)抛光技术开展了熔石英元件抛光工艺研究，对比了传统MCF和超声辅助MCF(以下简称UMCF)抛光对熔石英材料去除特性的影响，探究了不同抛光时间下MCF和UMCF抛光对熔石英材料去除量/去除率和表面粗糙度的影响，并构建了与抛光应力和抛光时间有关的材料去除率模型。研究结果表明，相较于传统MCF,UMCF在提高材... （共12页）