空气气氛热处理对Pd膜氢渗透性能的影响

摘要： 为了研究空气气氛热处理对Pd膜氢渗透性能的影响，采用化学镀沉积Pd膜，并对在573 K空气气氛热处理前后的Pd膜氢渗透性能进行分析评价。用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和氢渗透方法对Pd膜进行了表征，结果表明：沉积态Pd膜结构致密无缺陷，厚度为5μm左右，Pd膜在673、723、773 K的氢渗透率分别为3.62×10^-9、5.12... （共7页）