大口径主镜反射膜生长热应力及重力仿真

摘要： 为了充分了解大口径主镜镀膜时热应力及自身重力的分布规律，达到控制反射镜面形变化、提高成膜质量的目的，采用有限元分析方法，对大口径主镜反射膜的生长热应力及重力对反射镜面形的影响进行了理论分析和研究。结果表明，大口径主镜反射膜更容易在靠近边缘位置处出现剥落和损坏情况；大口径主镜镀膜过程中，自身重力引起的反射镜面形变化对镀膜质量会产生较大影响，需要进行重力消除处理；3000 mm口径... （共6页）