基于图像预处理的光学元件表面粗糙度测量系统

摘要： 在测量光学元件表面粗糙度时，测量结果往往比较片面，为此设计基于图像预处理技术的光学元件表面粗糙度测量系统。获取原始元件表面粗糙度干涉图像，通过对表面形貌图像实施图像去噪处理与倾斜校正处理获取滤波结果，通过自适应中值滤波算法实施图像的去噪处理。在粗糙度参数评定模块中，根据取样长度对评定长度下定义，实施光学元件表面粗糙度的全面评定。利用设计系统测量三种光学元件的表面粗糙度。实验结果...