大量程高线性光谱共焦位移测量系统

摘要： 兼具高精度、高稳定性并能实现非接触测量的光谱共焦位移测量系统在工业、医疗、科研等许多领域得到了广泛应用。目前制约光谱共焦位移测量系统应用发展的因素是大量程和高线性度。讨论了光谱共焦位移测量系统中色散物镜实现线性轴向色散的条件，设计了一种高线性色散和大色散范围的色散物镜，指定了适合的公差范围，加工装配了一组色散物镜，搭建了光谱共焦位移测量系统，采用双频激光干涉仪进行了位移标定，并...