当前位置:首页 > 科技文档 > 仪器仪表 > 正文

触针式表面形貌测量仪探针几何特性引起的失真机理与识别方法

计量学报 页数: 7 2024-03-23
摘要: 触针式表面形貌测量仪广泛应用于表面粗糙度、几何形状和波纹度等参数的测量,但探针与被测表面交互时所产生的卷积效应会导致测量结果的失真。通过分析探针几何特性引起的失真机理,将失真按其特性分为典型失真和复杂失真。针对探针球形针尖和锥角复合效应引起的失真现象,提出了一种复杂失真的多模态识别方法。实验结果表明:相较于形貌测量仪单模态识别典型失真的限制,该方法可以有效识别形貌测量结果中的复...

开通会员,享受整站包年服务立即开通 >