触针式表面形貌测量仪探针几何特性引起的失真机理与识别方法

摘要： 触针式表面形貌测量仪广泛应用于表面粗糙度、几何形状和波纹度等参数的测量，但探针与被测表面交互时所产生的卷积效应会导致测量结果的失真。通过分析探针几何特性引起的失真机理，将失真按其特性分为典型失真和复杂失真。针对探针球形针尖和锥角复合效应引起的失真现象，提出了一种复杂失真的多模态识别方法。实验结果表明：相较于形貌测量仪单模态识别典型失真的限制，该方法可以有效识别形貌测量结果中的复... （共7页）