AFM-TM微悬臂梁系统混沌运动及控制算法分析

摘要： 针对轻敲式原子力显微镜微(AFM-TM)悬臂梁系统的混沌运动会严重影响到AFM-TM的测量精度的问题，对该系统动力学特性及控制算法进行了分析。首先，通过数值仿真，综合利用Lyapunov指数、分岔图、Poincaré截面和相位图分析了外部激励幅值变化时AFM-TM微悬臂梁系统运动特性的演化；然后，提出将延时反馈控制和模糊自适应延时反馈，用于控制系统的混沌运动；最后，对两种控制算...