半球谐振子超精密修调方法研究

摘要： 目的 研究因谐振子质量缺陷而引起的频率裂解机制，进而对刚性轴位置进行质量高分辨率可控去除，提高陀螺精度。方法 首先基于多区域配合划分法建立半球谐振子高精度有限元仿真模型，分析质量大小与位置对谐振子频差的影响规律。其次搭建谐振子振动特性检测平台，利用拍频法实现其频差值和刚性轴位置的精确辨识。最后结合仿真与辨识结果以及离子束加工方法确定谐振子超精密修调方案。结果 优化网格划分方法后... （共9页）

半球谐振子频差超精密修调刚性轴位置离子束加工