二维高带宽低耦合纳米定位平台设计与实验

摘要： 纳米尺度研究的发展对原子力显微镜的核心运动部件——纳米定位平台的定位精度与扫描速度提出了更高要求。针对平台运动耦合与谐振频率两项关键性能展开研究，设计了一种新型基于压电陶瓷驱动的二维高带宽低耦合纳米定位平台。结构设计上，首先提出高刚度并联解耦结构，然后基于内外侧柔性铰链刚度解耦假设，确立了高刚度低耦合设计方案。为进一步提升平台谐振频率，建立尺寸参数优化模型，以平台一阶谐振频率为... （共7页）