仿虾螯式抗冲击微加速度传感器设计

摘要： 针对外弹道信息测量过程中，低量程微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)加速度传感器在上万g_n过载环境下的损坏问题，提出了一种仿虾螯式抗冲击微加速度传感器，可以实现抗过载30 000g_n、量程50g_n的指标要求。有限元仿真结果表明，在50g_n载荷作用下，加速度计敏感单元位移为0.99μm,灵敏度为0.124 pF/g_n... （共6页）