平板热管沟槽吸液芯结构刻蚀制造研究进展

摘要： 平板热管因传热面积大、性能高、几何形状自适应性强等优点，在高热流密度电子器件散热领域得到广泛应用。电子器件的高性能、集成化、小型化发展促使平板热管趋向于超薄化，结构稳定、质量轻、尺寸小的沟槽吸液芯结构平板热管成为解决电子芯片在有限空间内散热难题的首选方案。传统的沟槽加工工艺成本较高、沟槽加工尺寸受限，而刻蚀技术具有加工效率高、可加工结构尺寸范围广等优势，逐渐成为平板热管沟槽吸液... （共16页）