MEMS热式风速风向传感器输出性能优化研究

摘要： 环境测温二极管在工作时受传感器芯片热场影响，常引发MEMS热式风速风向传感器加热电压-风速曲线异常。将其更换为外置测温二极管，并调整其与传感器芯片距离，成功解决了输出曲线异常现象。并在此基础上，优化芯片及外置测温二极管的封装方案，消除了热场的相互干扰和不必要的热损耗，同时保证了外置测温二极管与空气的良好接触。风场测试结果表明，传感器的加热电压-风速曲线变得平滑，且重复性好，风速... （共6页）