一次性可编程存储器的数据保持特性建模及分析

摘要： 基于300 mm 0.18μm MS 5 V工艺平台设计并流片了1k×16一次性可编程OTP器件，并对存储单元的结构、工作原理及工艺等可能影响数据保持寿命的因素进行了分析。根据Arrhenius寿命模型对不同样品设置了高温老化实验测试，收集数据并对OTP器件的保持特性进行建模。通过225℃、250℃和275℃条件下的高温老化加速实验，拟合样品最大数据保持时间曲线。在生产过程中可... （共5页）