一种提高氮化镓高压功率器件动态可靠性的快速筛选方法

摘要： 为了快速筛选出由电流崩塌、阈值漂移导致失效的氮化镓(GaN)器件，提出了一种基于晶圆测试的创新筛选方法，旨在更好地筛选出高可靠性的650 V增强型GaN功率器件，在封装之前消除固有缺陷导致的动态失效，解决实际应用中的动态可靠性问题。详细介绍了快速筛选的基本原理，并通过电子器件工程联合委员会(JEDEC)可靠性测试、动态高温工作寿命(DHTOL)测试和加速开关寿命试验(SALT)...