MOEMS光逻辑开关状态监测系统

摘要： 为提高MOEMS光逻辑开关的响应速度、减少长时间热积累对激光点火系统的影响，提出在电热式MOEMS光开关中加入状态监测系统。该监测系统包括状态监测单元、驱动电路、控制电路、状态监测电路等，通过在微电热驱动器的运动路径上设置状态监测单元，当微电热驱动器运动到与状态监测单元接触时，状态监测电路识别到接触信号并输出触发信号，从而实现光逻辑开关的快速切换。针对一种电热式MOMES光逻辑... （共7页）