基于微形变分析的电容式MEMS加速度计温漂误差精密估计方法
系统工程与电子技术
页数： 9 2023-12-12
摘要： 针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system, MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers, CMA)温漂误差(temperature drift error, TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构建过程复杂繁琐的问题，提出基于微形变分析的CMA ... （共9页）
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