高精度NiCr/NiSi薄膜热电偶高温测试系统

摘要： 针对航空发动机涡轮叶片和燃烧室内壁等高温恶劣环境下对温度测量的迫切需求，提出了一种基于薄膜热电偶的高精度测温方法。采用磁控溅射法在SiC衬底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶。完成了薄膜热电偶的设计与制备，并设计了一套高精度温度数据采集系统，主控芯片采用STM32,数据采集芯片采用16位高精度芯片ADS1118,实现了对高温恶劣环境下温度数据的实时采集。结果表明：设计制备的N... （共6页）