压电变形镜驱动器迟滞快速辨识与补偿研究

摘要： 采用压电陶瓷作为促动机构的主动光学系统。为了对压电陶瓷驱动器固有的迟滞非线性进行有效抑制校正，以提高系统性能，该文对带变形镜镜面负载结构的压电陶瓷驱动器非线性迟滞动态进行了高效辨识建模，实现了带镜面负载的压电陶瓷驱动器相对误差1.886 7%的迟滞参数辨识与建模，降低了辨识算法所需时间90%以上，同时克服了负载结构导致辨识信号信噪比低的问题。实验证明，所用方法得到的压电陶瓷迟滞...