基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备

摘要： 针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低，无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题，提出了一种大高宽比针尖结构的新型CD-AFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1～5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针，其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度...