MEMS环形陀螺模态间刚度耦合频率调谐

摘要： MEMS陀螺结构的驱动和检测模态谐振频率差(Δf)是决定其机械灵敏度的主要因素，当Δf≈0时，陀螺处于频率调谐状态，此时陀螺的机械灵敏度达到最大值。本文针对一种电容式全对称S形弹性梁硅基环形波动陀螺，对其使用调频电压进行频率调谐过程中发现，模态间存在一定的刚度耦合。本文分析其模态间刚度耦合产生的原因是结构误差(环形谐振子的结构误差主要体现在两个振动参数，一个是频率，另一个是阻尼...