单相激励电容式时栅角位移传感器研究

摘要： 针对现有多相激励时栅角位移传感器在小体积时无法设置更多极对数进一步提升稳定性，导致精度和动态性能指标无法得到提升等问题，提出一种单相激励电容式时栅角位移测量方法。该方法采用单相激励耦合成四路空间正交的驻波信号，通过电路实现行波构造，从而实现角位移测量。文中介绍了多相激励时栅传感器存在的问题、单相激励时栅的测量原理，完成了传感器样机的研制，并通过实验验证该原理的有效性。实验结果表...