差分式声表面波温度应变复合传感器

摘要： 基于声表面波理论和微扰理论，提出了并研制由3个谐振器组成的差分式声表面波温度应变复合传感器。通过有限元分析软件对AT切和XY切的两种声表面波谐振器进行了仿真，根据其频率-应变响应和频率-温度响应，设计并研制了能够进行温度补偿和应力-应变补偿的温度应变传感器，传感器的应力测量灵敏度为100 Hz/με，温度测量灵敏度为80 kHz/℃。该传感器成功应用到了隔离开关的状态监测。现场... （共6页）