130 nm 7T SOI SRAM总剂量与单粒子协和效应研究
原子能科学技术
页数： 7 2023-09-23
摘要： 为进一步阐明SOI器件中总剂量效应(TID)与单粒子效应(SEE)间的协和效应，本文基于SOI工艺特征尺寸为130 nm的国产7T结构SRAM进行了相关研究。通过对4组SOI SRAM开展了不同TID辐照后的SEE实验，得到器件单粒子翻转(SEU)截面随TID的变化规律。SOI SRAM的SEU截面在TID辐照后呈现明显的降低，最大在750 krad(Si)剂量辐照后下降80.... （共7页）
APP 