MEMS加速度计全温性能优化方法

摘要： 针对微机电系统（MEMS）加速度计全温性能低的问题，提出锚区应力对消方法、低应力粘接工艺和温度补偿方法。首先，通过调整两个键合的锚区面积大小实现锚区应力对消，使得加速度计的温度性能得到改善；然后，建立加速度计堆叠封装模型并对专用集成电路（ASIC）粘接参数、加速度计敏感结构点胶方式与点胶参数进行仿真分析，从而确定了加速度计的低应力粘接形式和粘接工艺；最后，对加速度计零偏和标度因... （共7页）