一种摆式谐振加速度计的微杠杆结构设计与分析

摘要： 为提升摆式谐振式加速度计性能，设计了一种将质量块与微杠杆结构一体化的摆式微杠杆结构，实现惯性力的敏感与放大，提升结构的鲁棒性。首先建立了微杠杆结构力学模型，并进行了关键参数计算。其次，根据微杠杆结构放大倍数影响机理，分析了质量块、支撑梁及微杠杆结构尺寸参数对放大倍数的影响；理论分析与有限元仿真结果均表明，支点梁与输出梁的宽度应作为该类微杠杆的关键优化参数。最后，根据上述结论对现... （共10页）