石英MEMS陀螺检测电极分布参数优化

摘要： 针对石英微机电系统（MEMS）陀螺检测电极输出感应电压较低问题，通过优化检测电极分布参数，提升其机械灵敏度。首先，分析检测电极分布参数对陀螺输出感应电荷的影响，确定优化方案的控制参数和目标函数。其次，基于有限元方法（FEM）构建三种石英MEMS陀螺的机电耦合模型。最后，使用内尔德-米德（NM）算法优化检测电极分布参数。实验结果表明，优化后的检测电极分布参数更加合理，石英MEMS... （共6页）