一种分时差分的频率调制MEMS加速度计

摘要： 为提升MEMS加速度计温度适应性，设计了频率调制和分时差分方法。基于静电刚度效应，将敏感质量块因加速度产生的位移变化调制成谐振频率的变化，兼顾了位移检测的温度系数较低与谐振频率检测不易受电路噪声干扰的优点，且采用单个谐振器在时间上通过刚度切换进行分时差分，从而降低零偏随温度的漂移。通过实验测得，在10 V调谐电压下，加速度计室温下的零偏稳定性为76.79μg。-40℃～60℃全... （共7页）