硅片磨床伺服进给系统仿真模型与分析

摘要： 在硅片磨削时，硅片加工质量与硅片磨床的进给系统性能密切相关。为了提升硅片磨床进给系统的精度和稳定性，提出了采用上位机、运动控制卡、伺服驱动器、位置传感器进行闭环控制进给的技术方案。研究了伺服系统和机械系统两者之间的相互耦合关系，建立了动力学模型，搭建了基于PID控制的三闭环控制系统，采用MATLAB中Simulink模块对进给系统进行仿真分析。仿真结果表明，磨床进给系统速度波动...