考虑晶圆驻留时间约束的双臂组合设备群调度

摘要： 组合设备群代表了当前晶圆制造装备发展的新趋势，其调度控制水平直接攸关半导体芯片制造企业的整体经济效益。针对半导体芯片制造中考虑晶圆驻留时间约束的双臂组合设备群，文章提出了一种基于特征转换的调度控制方法。首先，引入一种概念型晶圆制造系统，即特征双臂组合设备，并给出相应的稳态调度方法。其次，采用特征转换方法，将线性/树形结构的双臂组合设备群转换为特征双臂组合设备。随后，根据转换后的... （共8页）