WO₃敏感电极的制备及其性能研究

摘要： 迈向微型化、集成化及具有高选择性和灵敏度的固体电解质气体传感器已成为未来的发展趋势。文章采用磁控溅射法成功制备了WO₃气体传感器敏感电极材料，并通过X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、X射线光电子能谱（XPS）等表征手段研究了WO₃的结构、成分和形貌并测试了该气体传感器对NO₂的气敏性能。XRD结果表明，当退火温度大于400℃时，WO₃出现（200）衍射峰，... （共8页）