大气压双频容性耦合Ar/O₂等离子体特性研究

摘要： 文章利用二维流体模型对双频调制大气压Ar/O₂放电特性进行了研究，着重讨论高低频电压、低频频率等不同匹配方式对等离子体参数的影响，并且通过对电子加热模式、电子密度、中性粒子密度、正离子能量以及正离子总通量等分析了大气压Ar/O₂放电双频调控机制。结果表明，低频源电压的改变使得电子加热模式由α模式转变为DA/α混合模式，且等离子体密度、正离子总通量及离子能量均随着低频电压的升... （共9页）