多级努森真空泵能效分析

摘要： 基于热流逸效应工作的努森真空泵相较于传统真空泵，因具有无运动部件且结构简单的优点而倍受关注，其应用通常采用多级串联结构。文章以努森真空泵能耗和效率模型为基础，着重考虑级数与热量传递和压力分配的关系，建立了多级努森真空泵气体工质流态处于过渡流时的能耗（热流比）与运行效率模型，进而研究了影响热流比及运行效率与级数、努森数、压比、温差等参数的关系。结果表明，努森数从0.2增至8，对应... （共7页）