电子致放气测试装置的研究

摘要： 材料表面吸附的气体分子在电子轰击作用下，会加速释放到真空系统中。为了测试在电子轰击下的材料放气特性，研制了一套电子致放气的测试装置。电子束发生器作为重要的组成部件，具有许多可调参数，这些参数会在一定程度上影响输出的电子束质量，进而影响电子致放气测试结果。文章首先通过实验测量了电子束斑和束流的影响因素，结果表明，聚焦电压和栅极电压对束斑的尺寸有直接的影响，而能量电压对电子束斑直径... （共8页）