玻璃破碎新鲜表面吸气特性及其诱导下快速抽气新方法研究

摘要： 高真空获得及维持技术对微纳材料制备、微电子设备制造、真空电子器件工艺优化等领域的科学研究及工业应用至关重要。文章面向高真空获得及维持过程中吸气材料吸气机理解析及寻优材料替代之关键科学问题，致力于克服传统高真空技术维持高真空状态能耗高、传统高真空获得方法依赖于昂贵设备和复杂操作等缺陷，提出了一种基于玻璃破碎新鲜表面诱发高真空获得及压力下限突破的新方法；文章首先开展了吸气成分及分压... （共8页）