便携式分压力质谱计校准装置的性能测试研究

摘要： 文章对新研制的便携式分压力质谱计校准装置的部分性能进行了测试。采用参考电离真空计测量了装置的极限真空度；对于流导值在10^-2 m~3/s的圆孔型抽气流导元件，通过精确测量其直径和厚度的尺寸，采用公式计算得到分子流条件下的流导值；对于孔径在微米量级的进气流导元件，采用定容衰减压力的方法通过实验测量确定其流导值；采用同一真空计分别测量抽气流导元件两端的气体压力获得返流比。测试... （共6页）