基于碳纳米管电子源的高稳定电离真空计的性能研究（英文）

摘要： 文章将碳纳米管电子源应用于高稳定电离真空计，通过结构和电参数优化，研制了样机，并开展了样机计量特性的实验研究，研究结果表明，新型电离规在6.87×10^-6 Pa～6.45×10^-5 Pa的压力范围内，灵敏度在0.200 Pa^-1～0.245 Pa^-1的范围内波动，与仿真灵敏度0.250 Pa^-1的偏差最大为20%，灵敏度波动小于5.96%，证明该结... （共6页）