临界喷嘴在真空泵抽速测试及计量中研究和应用

摘要： 真空泵抽速测量有多种方法，其准确度受到方法、仪表精度等影响。其中定流量法作为其中一种方式，其建立在一元可压缩流体理论基础上。文章结合一元可压缩流体基础理论与现有测试方法，提出将喷嘴临界状态作为定流量法测量基础。通过喷嘴临界状态的出现以及临界值计算，作为真空泵流量的测量方法基准数值，测量过程中只需要测定环境参数就可以测定真空泵流量，进而计算真空泵在某规定压力下的抽速。该测量方法装... （共7页）