标准真空电馈通微型磁控管真空计及其性能研究

摘要： 目前冷阴极电离真空计在微型真空系统中的应用较少，文章对一种磁控管真空计（MMG）进行研究，成功达到了微小尺寸与高真空测量水平同时满足的目标，该MMG体积仅有0.3 cm~3，比目前市售的磁控管真空计小30倍以上，同时由于其连接器设计使其能够与标准真空电馈通相适配。用COMSOL模拟了磁控管真空计内部电磁场分布与电子运动轨迹，实验测试得到了MMG在-500～-2500 V电压下1... （共7页）