1064 nm激光入射角度对HfO₂薄膜材料损伤特性的影响研究

摘要： 脉冲激光参数及其与物质作用方式，对薄膜材料的损伤过程与损伤识别至关重要。以单层HfO₂薄膜为对象，研究了改变波长为1064 nm、脉宽为10 ns的脉冲激光入射角度对薄膜材料损伤特性的影响。利用COMSOL对激光以不同入射角度作用于薄膜时的温度场变化，以及薄膜表面光斑形状的变化进行了仿真。以1-on-1测量方式，选择入射角度分别为0°、30°、45°、60°对样品进行测试，获... （共11页）