一种高性能非蒸散型吸气剂的性能分析

摘要： 非蒸散型吸气剂（NEG）是高真空和超高真空系统维持真空度的重要材料，具有高稳定性和高气体吸附性能，文章采用粉末冶金的方法制备出Zr_(59.46)V_(29.81)Al_(10.73)吸气剂，并基于小孔流导法搭建了一套吸气剂性能测试的高真空系统，分别测试了气体种类及工作温度对吸气剂性能的影响，实验结果表明：Zr_(59.46)V_(29.81)Al_(10.73)吸气剂对H₂... （共8页）