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一种冷阴极电子枪的模拟研究

真空科学与技术学报 页数: 9 2024-04-18
摘要: 文章通过Computer Simulation Technology粒子工作室软件建立了一种电子通过率极高的微焦点冷阴极电子枪。重点研究了电子枪自身结构对焦点、电子通过率和阴极发射电流的影响。特别是仿照了皮尔斯电子枪的结构,采用了一种弧面阴极,并在此基础上增加了一个阴极凹槽,使电子通过率从75.21%提高到90.26%,同时将近500μm的焦点缩小到50μm以内。最终设计出的冷... (共9页)

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