滑移流区域梯形微通道内气体热流逸效应及流动特性

摘要： 努森压缩机是一种有效的非机械式气体升压微泵，在输送气体、压缩气体等方面具有巨大的应用潜力。基于具有滑移和跳跃边界条件的纳维-斯托克斯方程，建立适应于滑移流区域梯形微通道内气体流动二维数值模型。分析了倾角和冷热腔室温差对微通道内部气体克努森数分布、压升以及流动特性的影响规律。结果表明：微通道倾角从0°升高到5.72°，压升从129.181 Pa降低到48.291 Pa，降低了62... （共8页）