高转速背景下涡轮分子泵的发展机遇与挑战

摘要： 传统直叶片结构的涡轮分子泵在高转速的背景下面临着新的发展机遇与挑战，为了突破当前遇到的“涡轮分子泵的抽气速率随着涡轮转速增加到一定程度以后就不再增加，仿佛进入了一个饱和状态”的瓶颈问题，文章从分子气体动力学基本原理出发，采用蒙特卡洛方法，分析了涡轮转速提高以后给涡轮分子泵的抽气机制带来的新变化，发现了传统直叶片结构的抽气叶列和抽气模式与目前达到的高转速不匹配限制了抽速的提升，但... （共11页）