双通道放气率测量装置器壁放气动态特性分析与碳化硼放气率测试

摘要： 双通道法是一种高精度、低检测下限的材料放气率测量方法，适用于碳化硼等低放气率材料。该方法需要先测定测量系统的本底放气量，即在系统压力稳定后，选取某一时刻的压力值计算后作为本底放气量。针对装置本底放气量测量，文章基于吸附扩散理论，建立了双通道测量系统的吸附-扩散-解离模型，并进行了数值计算分析，研究了系统本底压力随温度的变化规律，计算结果与实验结果吻合良好。同时，文章对含B4C样... （共6页）