Ti-Mo吸气材料的表面改性及其选择性吸气性能研究

摘要： 为了实现真空器件内微量气体的选择性控制，提升吸气剂在复杂气氛环境下的适用性，采用化学镀方法将Ni沉积在Ti-Mo粉体表面制备出Ni/Ti-Mo粉体，并通过粉末冶金压制和热处理烧结工艺制备了对H₂和O₂具有选择性吸收性能的Ni/Ti-Mo吸气材料。采用扫描电子显微镜（SEM）、能谱（EDS）、感耦合等离子体原子发射光谱（ICP）对Ni/Ti-Mo粉体的表面形貌及成分进行表征，...