TiZrNbTaMo高熵合金表面化学气相沉积制备多晶金刚石膜

摘要： 本文以亲碳元素组成的TiZrNbTaMo高熵合金作为基材，通过化学气相沉积的方法在其表面沉积金刚石膜。结果表明：金刚石能够在TiZrNbTaMo高熵合金表面快速形核，形核密度高达7.53×10~9 cm^-2，且在30 min内形成连续的金刚石膜；金刚石在TiZrNbTaMo高熵合金表面的形核密度及生长速率远高于在组成高熵合金的单质金属表面的形核密度及生长速率。这是由于在金... （共10页）