深紫外高陡度滤光膜的研制

摘要： 为抑制非相干光产生的干扰，提高紫外单色仪的分辨率，本文选择Al₂O₃、AlF₃分别作为高、低折射率材料，在熔融石英基底上设计并制备了深紫外全介质高陡度滤光膜。通过优化沉积工艺及膜层应力分析方法，解决了薄膜应力过大所导致的膜裂问题；并对实验结果进行反演分析，通过优化监控方法提高了膜厚控制精度。制备的深紫外高陡度滤光膜在232～400 nm平均透过率为97.67%，在115～... （共9页）