基于过焦扫描光学显微术的套刻误差检测方法研究

摘要： 针对套刻误差测量，提出了一种基于过焦扫描光学显微技术（TSOM）结合深度学习模型的测量方法，利用传统光学显微镜采集不同偏移量的套刻标识图像，建立TSOM图集，通过卷积神经网络模型对套刻标识偏移量进行回归预测，最终得到套刻误差预测结果的误差小于0.1 nm，重复精度（3σ）优于0.25 nm。实验结果表明，基于TSOM结合深度学习的测量方法实现了亚纳米级精度套刻误差测量。该方法可... （共8页）